微機電系統mems
三維微電子機械系統(3D-MEMS),是將矽加工成三維結構,其封裝和觸點便於安裝和裝配,用這種技術製作的感測器具有極好的精度、極小的尺寸和極低的功耗。這種感測器僅由一 ...,2023年9月27日—簡單來說,就是能夠在一個微小元件中整合電子、機械、材料、光學、化學以...
超越摩爾的微機電系統技術!將感測器與致動器微型化| ...
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2022年11月20日—目前已經成功商品化的MEMS產品非常多,包括壓力感測器、噴墨晶片、數位微反射鏡、加速度計、陀螺儀、微麥克風、室溫紅外線感測器、氣體感測器、以及一些 ...
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