微機電系統mems
三維微電子機械系統(3D-MEMS),是將矽加工成三維結構,其封裝和觸點便於安裝和裝配,用這種技術製作的感測器具有極好的精度、極小的尺寸和極低的功耗。這種感測器僅由一 ...,2023年9月27日—簡單來說,就是能夠在一個微小元件中整合電子、機械、材料、光學、化學以...
微機電系統
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微機電系統(Micro-Electro-Mechanics-System,MEMS)係整合電子、機械、材料、.光學等工程技術於一微小元件,使其具有一特殊功能的系統元件,我們亦稱之為微系統.( ...
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