lithography意思
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EUV是個什麼酷東西? — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術
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2020年12月4日—微影製程(Lithography)的本質就是讓光穿透光罩,把設計好的圖案映射在晶圓上面,因此我們會希望光在穿透光罩的過程中不要產生繞射,而讓原本的圖案變形。
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