lithography半導體
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IC 縮小術!林本堅院士談光學微影如何把IC 愈變愈小
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2022年8月2日—IC愈做愈小的關鍵技術在於光學微影(OpticalLithography)。光學微影簡單來說,就是在製作元件的過程中,將元件的組成材料依所需位置「印」在半導體晶 ...
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