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euv原理
EUV極紫外光微影技術.ASML是全世界唯一採用極紫外光的微影設備製造商。為了能控制EUV極紫外光光源,並推動EUV微影系統商用化,20多年來,ASML持續投入研發,克服各種 ...,2023年10月16日—簡單來說,為了正式引進EUV設備,需要由多層透鏡和曝光吸收層(Absorber)組...
挽救摩爾定律:ASML 極紫外光(EUV)微影技術量產的開發歷程
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2021年2月15日—EUV光的產生是用二氧化碳雷射每秒5萬次去轟擊液態錫滴。出來的EUV光通過一個直徑為0.65公尺的橢球反光鏡送進微影機台裡頭。錫滴位於橢球反光 ...
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