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Overlay 半導體
2008年8月29日—微影疊對(overlay)顧名思義就是層對層(layertolayer)。晶片製造過程中,製程整合等工程人員依據電路線寬等特性,將龐雜的電路走線區分為不同光罩層 ...,AUROSOverlay影像檢測機台OL100OL-100台灣...母公司FST,Ltd.創立於1987年,為韓國著名的的半導體...
微影製程疊對量測改善
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Overlay既然代表著前層與當層的對準狀況,因此量測的結果就會受到前層與當層圖形的影響,前製程所沉積的薄膜會因為生成的特性,影響到量測mark的圖形,而當層因為是光阻 ...
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