無塵室空調箱
無塵室系統·一、循環空調箱(AHU)系統.特點以風管輸送清靜空氣特點:適用CLASS100K~1K·二、外氣空調箱(MAU)+FFU+DryCoil系統.特點雙層天板内空間為微負壓chamber,1.無塵室內空調負荷經估算確認並排除濕製程區域,可免除濕及再熱功能。·2.無塵室內以分散乾盤管(DryCool...
2022年5月19日—台積公司改裝無塵室外氣空調箱,節電1億4,900萬度·研發濕膜板強化洗滌效果,有效節電80%·既有廠區改裝+新建廠區導入,節能成效更提升.
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無塵室系統
無塵室系統 · 一、循環空調箱(AHU)系統. 特點 以風管輸送清靜空氣特點: 適用CLASS 100K~1K · 二、外氣空調箱(MAU)+FFU+Dry Coil系統. 特點 雙層天板内空間為微負壓chamber
無塵室的濕度控制-
1.無塵室內空調負荷經估算確認並排除濕製程區域,可免除濕及再熱功能。 · 2.無塵室內以分散乾盤管( Dry Cooling Coil )或RAU空調箱控制室內溫度,當MAU穩定供應設定露點之補 ...
台積公司改裝無塵室外氣空調箱
2022年5月19日 — 台積公司改裝無塵室外氣空調箱,節電1億4,900萬度 · 研發濕膜板強化洗滌效果,有效節電80% · 既有廠區改裝+新建廠區導入,節能成效更提升.
無塵室節約能源技術手冊
某廠在外氣空調箱內加裝兩道熱交換盤管,利用空調箱內部熱能回收,減少冰水. 與溫水供應量,降低冰水機與鍋爐耗能。空調箱每年約可節省40 萬度電,鍋爐每年. 則可減少約 ...
無塵室中三個主要空調設備MAU、DCC、FFU
MAU(Make-up Air Unit),也稱為外氣空調箱,對無塵室環境的影響最大。主要功能是控制露點、製造潔凈空氣並確保無塵室保持正壓。無塵室需要恆溫恆濕的新鮮空氣,因此 ...
無塵室建置要件
作業原理: 將外界空氣以組合式空調箱(AHU)初步過濾後,經風管送至無塵室天花板(氣艙),再由高覆蓋率之HEPA過濾器充分潔淨,自天花板由上而下垂直吹入作業區,剩餘空氣由 ...
無塵室空調系統︱改善內部空氣品質
無塵室空調系統是指藉由空調來改善內部空氣品質、使室內空間成為一個低污然的環境。而空調系統的運作除了可以控制室內溫度外,也可以過濾室內懸浮微粒、粉塵等空氣裡的 ...