浸潤式immersion微影技術
2022年1月3日—...浸潤式(Immersion)微影技術,並在5奈米製程擴大使用,甚至如今還成為全球擁有最多EUV機台的廠商。林本堅身為推動浸潤式微影技術的台積電前研發大將 ...,微影技術的發展,一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容,在半導體產業裡具...
浸潤式微影技術
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2013年10月13日—這種「加了水」的微影技術,就叫做浸潤式微影技術。透過它,以及其他相關技術的發展,人類成功地讓晶片愈來愈精密,電路的線寬愈來愈細。剛剛提到在65 ...
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