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改善短通道效應
由羅以倫著作·2010—...通道,如圖1-4,.來提升閘極對通道的控制能力,改善短通道效應。元件完成後,經過氨電漿處理,.發現整個電性有非常明顯的改善,包括高驅動電流,低次臨界擺幅達到.,2015年4月7日—影響推動力的最主要因素還是來自於短通道效應,特別是本身就已...
為抑制短通道效應和改善熱不穩定度之具有內部阻絕層 ...
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經由模擬軟體驗證得知內部阻絕層可有效抑制超短通道效應與改善熱不穩定度。最後,我們結合磊晶矽鍺薄膜製程(bSGMOS)在源╱汲極區成長矽鍺薄膜,利用應力提升元件電流驅動 ...
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