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課程概要何謂微機電(MEMSorMST)定義,背景及趨勢.微機電之應用汽車科技,量度學與製造,醫學,環境與生物科技微加工技術(Micromachining)面加工,體加工,矽基製造及 ...,半導體積體電路製程介紹(國立交通大學提供)(限用IE)...Chapter1微機電系統MEMS製程簡介(2016.03.01...
達到元件的微小化目的,這就是微機電系統(MEMS)
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4.2微機電系統.MEMS的發展由來,根源於1960年代中期利用半導體製程,製造機械結構於矽晶片上的概念後,吸引了許多人投入該技術的研究。到了1970年代中期,利用該製造 ...
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