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euv光源
2023年12月21日—因應半導體微影技術發展之潮流,國家度量衡標準實驗室近年來啟動發展極紫外(EUV)波段之光輻射量測技術。而EUV波段之光源與感測器,無疑是發展EUV相關 ...,極紫外線(EUV)光罩是以新式微影系統,透過高能量、短波長的光源,將電路圖案轉印到晶圓。EUV...
Centura Tetra EUV 先進光罩蝕刻系統
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極紫外線(EUV)光罩是以新式微影系統,透過高能量、短波長的光源,將電路圖案轉印到晶圓。EUV光源波長比目前深紫外線微影製程的光源波長短少約15倍,因此能持續將線 ...
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