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euv光源
2023年12月21日—因應半導體微影技術發展之潮流,國家度量衡標準實驗室近年來啟動發展極紫外(EUV)波段之光輻射量測技術。而EUV波段之光源與感測器,無疑是發展EUV相關 ...,極紫外線(EUV)光罩是以新式微影系統,透過高能量、短波長的光源,將電路圖案轉印到晶圓。EUV...
全球瘋搶EUV 曝光機!究竟是摩爾定律的救命曙光
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2023年3月10日—極紫外光(Extremeultraviolet,EUV)是波長小於13.5奈米的光,使用EUV作為光源的曝光機,即為EUV曝光機。由於造價昂貴、製程繁複、貨源稀少 ...
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