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euv光源
2023年12月21日—因應半導體微影技術發展之潮流,國家度量衡標準實驗室近年來啟動發展極紫外(EUV)波段之光輻射量測技術。而EUV波段之光源與感測器,無疑是發展EUV相關 ...,極紫外線(EUV)光罩是以新式微影系統,透過高能量、短波長的光源,將電路圖案轉印到晶圓。EUV...
藉助CO 2 高功率雷射系統和錫產生EUV輻射
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製造晶片時TRUMPF高功率雷射放大器發揮關鍵作用:因為藉助它可生成發光等離子體,從而提供極紫外光(EUV)曝光晶圓。TRUMPF與全球最大的光刻系統製造商ASML以及光學元件製造 ...
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