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euv光源
2023年12月21日—因應半導體微影技術發展之潮流,國家度量衡標準實驗室近年來啟動發展極紫外(EUV)波段之光輻射量測技術。而EUV波段之光源與感測器,無疑是發展EUV相關 ...,極紫外線(EUV)光罩是以新式微影系統,透過高能量、短波長的光源,將電路圖案轉印到晶圓。EUV...
摩爾定律的華麗謝幕:EUV微影機
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2020年10月22日—此時準分子雷射(excimerlaser)的光源就應運而生了,它是利用惰性氣體與鹵素分子混合,藉由電子束的能量激發,而產生深紫外光的波長,如利用氟化氪(KrF) ...
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