EUV光源 原理
2019年1月25日—半導體製程的原理是「差異蝕刻」:半導體基板上被光照射的區域會發生化學...圖二、EUV光源的產生。在2000年初,EUV製成的可行性被確認。但直到最近 ...,,2023年3月10日—極紫外光(Extremeultraviolet,EUV)是波長小於13.5奈米的光,使用EUV作為光源的...
全球瘋搶EUV 曝光機!究竟是摩爾定律的救命曙光
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2023年3月10日—極紫外光(Extremeultraviolet,EUV)是波長小於13.5奈米的光,使用EUV作為光源的曝光機,即為EUV曝光機。...為了讓大家盡量了解原理,三角形圖案已 ...
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