浸潤式immersion微影技術
2022年1月3日—...浸潤式(Immersion)微影技術,並在5奈米製程擴大使用,甚至如今還成為全球擁有最多EUV機台的廠商。林本堅身為推動浸潤式微影技術的台積電前研發大將 ...,微影技術的發展,一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容,在半導體產業裡具...
微影技術的未來浸潤式vs.奈米壓印式
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微影技術的發展,一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容,在半導體產業裡具有重大的指標意義。針對65奈米以下光罩製作,浸潤式微影技術的出現,也代表著 ...
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