微機電製程英文
2023年9月27日—微機電系統(Micro-electromechanicalsystems,英文簡稱MEMS),主要利用半導體相關製程步驟為基礎——包含薄膜沉積、蝕刻、接合等技術——在矽晶圓上「製作 ...,何謂MEMS?...MEMS是MicroElectroMechanicalSystems(微機電系統)的縮寫,具有微小的立體結...
國立中山大學103學年度第2學期微機電製程實務課程大綱
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1.IntroductiontoapplicationofMEMS·2.Wafercleaningprocess·3.Lithographtyprocess·4.Thinfilmprocess·5.Wetetchingprocess
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