sidewall spacer用途
Sidewall.Spacer,USG.PMDBarrier.Nitride.IMD3.Passivation1.Passivation2...•Al-Si-Cu合金被使用.•Al-Cu(0.5%)較普遍.Page10.19.鈦之應用.Ti.PSG.,化層,稱之為側壁(spacer或offsetspacer),spacer通常以氮化矽(SiN)或.傳統的二氧化矽(SiO2)為主,此外,spacer對於...
國立臺灣師範大學機電科技學系碩士論文指導教授
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化層,稱之為側壁(spacer或offsetspacer),spacer通常以氮化矽(SiN)或.傳統的二氧化矽(SiO2)為主,此外,spacer對於自動對準矽化物(silicide).能有效的隔絕,也 ...
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