mems微機電
隨著MEMS技術在消費電子應用的快速崛起,及半導體製造接近極限,透過TSV技術整合MEMS與CMOS製程,形成IC的3D化也逐漸受到矚目。由於3DMEMS隱含了異質整合特性,具備低成本 ...,MEMS在台灣其實尚未建立完整,微機電跟IC不同,IC大家都用CMOS,製程固定,封裝方式很固...
MEMS殺手級應用—消費性電子產品
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MEMS在台灣其實尚未建立完整,微機電跟IC不同,IC大家都用CMOS,製程固定,封裝方式很固定;但微機電是一種製程,而且每家公司做法不同,封裝方式也都不同,國內沒有一家 ...
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