mems微機電
隨著MEMS技術在消費電子應用的快速崛起,及半導體製造接近極限,透過TSV技術整合MEMS與CMOS製程,形成IC的3D化也逐漸受到矚目。由於3DMEMS隱含了異質整合特性,具備低成本 ...,MEMS在台灣其實尚未建立完整,微機電跟IC不同,IC大家都用CMOS,製程固定,封裝方式很固...
微機電系統(MEMS)
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微機電系統(MEMS)正在推動將各種傳感功能合併到單個器件中,並用於許多不同的應用中。在手持設備領域,MEMS大量用於智慧手機,這推動了MEMS的增長,如今的智慧手機可容納 ...
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