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euv光源
2023年12月21日—因應半導體微影技術發展之潮流,國家度量衡標準實驗室近年來啟動發展極紫外(EUV)波段之光輻射量測技術。而EUV波段之光源與感測器,無疑是發展EUV相關 ...,極紫外線(EUV)光罩是以新式微影系統,透過高能量、短波長的光源,將電路圖案轉印到晶圓。EUV...
陳明彰教授團隊─ 一光圈突破了桌上型極紫外光產生的能量 ...
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- EUV 曝光 原理
在高次諧波產生極紫外光(EUV)之過程中,較高光子能量的EUV轉換效率較低,故大多數桌上型高次諧波光源的應用僅僅限於光子能量較低的EUV。然而轉換效率低並非由於缺乏高亮度 ...
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