Double Patterning 原理
2019年9月18日—为了解决这个问题,先进工艺开始采用doublepattern(DPT),也称为doublemask,就是将原来的一层mask拆分成两层,在每一层mask中都不出现最小 ...,多重圖形(Multiplepatterning)是指一種在半導體製造過程中的技術。在光刻過程中使用了多重圖形曝光...
7nm 制程工艺如何实现?
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2020年7月4日—最主要的两种方法就是双重曝光技术(doubleexposure,DE)和自对准双重成像技术(self-aligneddoublepatterning,SADP)。...下面简单介绍一下SADP原理, ...
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