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DUV EUV 波長
(1)當半導體微影製程光源從使用193nm(DUV,Deepultraviolet)波長縮短至13.5nm(EUV,Extremeultraviolet)波長時,光阻釋氣即被視為汙染EUV光學元件的重要元兇之一。,,2021年12月21日—DUV和EUV最大的区别在光源方案。EUV的光源波长为13.5nm,但最先进DUV的光源波只有193...
EUV, DUV, XUV 有什么区别?对应的波长分别是多少?
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2021年12月11日—EUV,DUV,XUV有什么区别?对应的波长分别是多少?·(1)它们的全称分别是·(2)它们对应的波长大致的区间为·(3)注意:波长不是分辨率!·推荐 ...
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