![193 nm immersion lithography](https://host.easylife.tw/files/Immersive%20Explorer.gif)
2015年7月23日—Theneedtoextend193nmimmersionlithographynecessitatesthedevelopmentofathirdgeneration(Gen-3)ofhighrefractiveindex(RI)fluids ...,2023年6月15日—“Theminimumresolutionofcurrentimmersion193scanners,with1.35NA,is80nm,withdoublepatterningth...
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由QWu著作·2023—Hereweperformananalysisonthepossibilityofmanufacturingthe5nmdesignwith193nmimmersionlithographywithmultiplepatterningtechniquesasithas ...
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