淺溝渠隔離
本研究探討場發射金屬氧化半導電晶體(MOSFET)淺溝槽隔離絕緣層(ShallowTrenchIsolation,STI)與鄰近電晶體主動區的高度差(Step-height)對元件特性的影響。,浅槽隔离,即shallowtrenchisolation,简称STI。通常用于0.25um以下工艺,通过利用氮化硅掩膜经过淀积...
淺溝渠元件隔離技術現況與挑戰
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淺溝渠元件隔離技術現況與.挑戰.摘要.淺溝渠隔離技術(ShallowTrenchIsolation,STI)為先進IC奈米晶片製程中的關鍵技.術。以化學機械研磨技術進行溝渠隔離氧化矽之回 ...
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