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淺溝渠隔離
本研究探討場發射金屬氧化半導電晶體(MOSFET)淺溝槽隔離絕緣層(ShallowTrenchIsolation,STI)與鄰近電晶體主動區的高度差(Step-height)對元件特性的影響。,浅槽隔离,即shallowtrenchisolation,简称STI。通常用于0.25um以下工艺,通过利用氮化硅掩膜经过淀积...
複晶矽緩衝層淺溝渠隔離技術之研究
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...淺溝渠隔離技術,此種將二氧化矽回填入淺溝渠再加上化學機械研磨(ChemicalMechanicalPolishing)的隔離技術,除了可以得到完全平坦(GlobalPlanarization)的隔絕 ...
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