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改善短通道效應
由羅以倫著作·2010—...通道,如圖1-4,.來提升閘極對通道的控制能力,改善短通道效應。元件完成後,經過氨電漿處理,.發現整個電性有非常明顯的改善,包括高驅動電流,低次臨界擺幅達到.,2015年4月7日—影響推動力的最主要因素還是來自於短通道效應,特別是本身就已...
閘極蝕刻與鰭式結構對於場效電晶體特性 ...
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本論文第一部分,首先探討主流的矽電晶體,發現鰭式場效電晶體相較於平.面式電晶體除了截止狀態的短通道效應控制較佳外,亦有在相同面積(footprint)下.導通狀態電流較大 ...
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