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微影 技術應用
我們的技術.微影創新改變世界.微影就是用光將電路設計圖微縮投印在矽晶片上—這是量產晶片時最重要的步驟。微影技術如何運作.微影系統本質上是一個投影系統,利用光線 ...,2023年1月25日—其優勢在於製程簡單、可應用的材料多元、不需要光罩、成本比雷射曝光低、生產...
奈米世代微影技術之原理及應用
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為達成最佳的元件圖案定義,微影術的研究一直不斷的進行,主要的方向大致上可以分為三個部分:.(1)減低曝光的波長,以增光曝光光源的解像能力。從汞燈所發出的g-line(436 ...
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