所述方法包括的步骤有:提供第一衬底用于形成罗特曼透镜的底部;使用光刻法在第一衬底上形成一个氧化物掩蔽层;使用深度反应离子蚀刻法(DRIE)在第一衬底上蚀刻形成所述 ...,利用eXcel軟體製作圓形圖表.將各項百分比輸入於工作表中.選定範圍.選擇插入→圖表.選擇雷...
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