polysilicon中文
PolySilicon──中文名稱為多晶矽,由許多為小的矽晶粒所組合而成的材料,是一種高純度、多晶型式的矽。不同於單晶矽和非晶矽,構成多晶矽的晶體稱為微晶。,低溫多晶矽(LTPS)電晶體的製造比非晶矽(a-Si)和金屬氧化物電晶體的生產更加複雜,需要額外的步驟和製程。,199...
多晶矽之產製、應用與其器材修護技術
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1997年10月5日—多晶矽之產製、應用與其器材修護技術所謂的多晶(Polysilicon),就是一種由多個不同結晶方向(CrystalOrientation)的小單晶矽晶粒(SingleCrystalof ...
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