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三維微電子機械系統(3D-MEMS),是將矽加工成三維結構,其封裝和觸點便於安裝和裝配,用這種技術製作的感測器具有極好的精度、極小的尺寸和極低的功耗。這種感測器僅由一 ...,IC經驗難複製.事實上,MEMS的興起,最早是應用在車用與工業領域,特別是車用市場,因為...
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