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dicing製程
適用於DBG製程黏晶切割膠帶DicingDieBondingTapeforDBGProcess.降低KerfShrink、KerfShift,黏著劑層可進行FullCutLaserDicing;不需膠帶擴片製程即可進行DAF ...,DBG就是將原來的「背面研磨→切割晶片」的製程程序進行逆向操作,先對晶片進行半切割加工,然後利用背...
電漿蝕刻技術於晶圓切割產業之應用
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摘要:電漿蝕刻製程在半導體晶片製造中為相當成熟的前段製程技術,已廣泛被應用於微機電(MEMS)微加工與立體(3D)封裝中的穿孔蝕刻等流程,而近年來因應後段半導體製程之 ...
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