Overlay 半導體
2008年8月29日—微影疊對(overlay)顧名思義就是層對層(layertolayer)。晶片製造過程中,製程整合等工程人員依據電路線寬等特性,將龐雜的電路走線區分為不同光罩層 ...,AUROSOverlay影像檢測機台OL100OL-100台灣...母公司FST,Ltd.創立於1987年,為韓國著名的的半導體...
先進記憶體IC的疊對量測挑戰
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2020年5月19日—晶圓廠使用疊對量測(overlaymetrology)技術來測量和控制生產製程中的圖案/圖案對準。疊對誤差通常是在目標(整個曝光場中處於獨立位置的特殊圖案結構)上 ...
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