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EUV光源 原理
2021年2月4日—EUV的技術原理,藉由精細的雷射光線與水滴相撞擊,搭配音樂為大家帶來了無與倫比的感官享受在這16天的展期中,我們攜手創造了3項成就:☝️見證 ...,2023年7月5日—这15年历尽坎坷,要理解其中的难点,我们不得不谈一谈13.5纳米的EUV光源的发光基本原理,EUV...
新一代製程的關鍵:13.5奈米的「極端」紫外光
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2019年1月25日—半導體製程的原理是「差異蝕刻」:半導體基板上被光照射的區域會發生化學...圖二、EUV光源的產生。在2000年初,EUV製成的可行性被確認。但直到最近 ...
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