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EUV光源 原理
2021年2月4日—EUV的技術原理,藉由精細的雷射光線與水滴相撞擊,搭配音樂為大家帶來了無與倫比的感官享受在這16天的展期中,我們攜手創造了3項成就:☝️見證 ...,2023年7月5日—这15年历尽坎坷,要理解其中的难点,我们不得不谈一谈13.5纳米的EUV光源的发光基本原理,EUV...
摩爾定律的華麗謝幕:EUV微影機
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2020年10月22日—此時準分子雷射(excimerlaser)的光源就應運而生了,它是利用惰性氣體與鹵素分子混合,藉由電子束的能量激發,而產生深紫外光的波長,如利用氟化氪(KrF) ...
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