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EUV 優點
2020年4月22日—在台積電法說會上,EUV是近年不斷提到的微影製程名稱,也是現今能在晶片上畫出最精密線路的光罩技術,究竟微影技術是什麼?在神秘的半導體無塵室如何進行 ...,除了更少的光子暴露在光刻膠上之外,EUV光刻膠也吸收更少的光子。...EUV光刻膠爭奪,未來...
EUV微影的最佳時機到了嗎?
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2019年9月20日—...好處。更廣泛地說,由EUV所提供的簡化也為產品設計工程師減輕了負擔,這些人不必再擔心得繼續「壓榨」193奈米浸潤式微影技術,好支援三重或四重圖形 ...
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