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Double Patterning 原理
2019年9月18日—为了解决这个问题,先进工艺开始采用doublepattern(DPT),也称为doublemask,就是将原来的一层mask拆分成两层,在每一层mask中都不出现最小 ...,多重圖形(Multiplepatterning)是指一種在半導體製造過程中的技術。在光刻過程中使用了多重圖形曝光...
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2018年4月26日—接下來是另一類聰明一點的多重曝光,可以統稱為SADP(Self-AligningDoublePatterning)。例如SideWallTransfer就是核心的實現方式。主要是利用第一 ...
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