![雷 射 微影](https://host.easylife.tw/files/Immersive%20Explorer.gif)
雷 射 微影
...微影技術,達到量產目的,在壓印過程中所使用之奈米模具扮演著關鍵角色。一般用來製作奈米模具的方式有許多種,如光學微影、電子束微影等技術,而其中雷射干涉微影技術 ...,本研究提出利用雷射干涉微影(LaserInterferenceLithography)進行NPSS之圖案定義,其中雷...
以雷射直寫技術製作三維微影圖形之研究
- EUV 優點
- EUV 曝光 原理
- lithography意思
- 微影 技術應用
- 193 nm immersion lithography
- 193奈米浸潤式微影技術
- 台積電 浸潤式 曝光的 原理
- 光罩原理
- Double Patterning 原理
- euv光源
- Overlay 半導體
- EUV光源 原理
- 雷 射 微影
- EUV lithography 原理
- 超紫外光
- 微影技術原理
- 台積電浸潤式曝光
- euv原理
- 濕式微影
- 何謂微影技術
- DUV EUV 波長
- euv波長
- arf immersion
- what is immersion lithography
- arf immersion lithography
本論文利用雷射書寫系統利用灰階直寫之方式直寫於光阻上,製作三維微影圖形;先以AutoCAD繪製出所需圖案,經由DWL66之轉檔程式將之轉成機械碼後,不需使用光罩,利用DWL ...
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