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短通道效應影響
由許子訓著作·2007—...通道的影響,使得Vth不漂移。...由於閘極對通道的控制能力佳,加上電漿修補製程,有效.的減少晶粒邊界的缺陷密度(TrapDensity)及降低短通道效應(ShortChannelEffect)。,短溝道效應(英語:short-channeleffects)是當金屬氧化物半導體場效應管...
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由許子訓著作·2007—...通道的影響,使得Vth不漂移。...由於閘極對通道的控制能力佳,加上電漿修補製程,有效.的減少晶粒邊界的缺陷密度(TrapDensity)及降低短通道效應(ShortChannelEffect)。
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