![無塵室空調箱](https://host.easylife.tw/pics/author/yohnu1/201801/Mausr/mausr.png)
無塵室空調箱
MAU(Make-upAirUnit)也稱「外氣空調箱」,對無塵室環境影響最大的也就是MAU。MAU主要負責功能為控制露點、製造無塵空氣,並確保無塵室保持正壓。在無塵室空調系統需 ...,2022年5月19日—台積公司改裝無塵室外氣空調箱,節電1億4,900萬度·研發濕膜板強化洗滌效果,有...
無塵室的濕度控制-
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1.無塵室內空調負荷經估算確認並排除濕製程區域,可免除濕及再熱功能。·2.無塵室內以分散乾盤管(DryCoolingCoil)或RAU空調箱控制室內溫度,當MAU穩定供應設定露點之補 ...
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