微影 技術應用
我們的技術.微影創新改變世界.微影就是用光將電路設計圖微縮投印在矽晶片上—這是量產晶片時最重要的步驟。微影技術如何運作.微影系統本質上是一個投影系統,利用光線 ...,2023年1月25日—其優勢在於製程簡單、可應用的材料多元、不需要光罩、成本比雷射曝光低、生產...
微影製程再進化!複雜電路的祕密
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微影製程是將電路圖案,透過已刻好圖案的光罩及光阻,「轉印」到晶圓上的過程。舉例來說,在已有一層二氧化矽薄膜的晶圓上(見下圖),我們希望在特定位置蝕刻出一個 ...
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