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結合電子與機械於一身的MEMS元件,具備感知、致動、運算等功能,一般熟知的加速度計、陀螺儀、壓力感測器、矽麥克風,應用範圍遍及資通訊、製造、運輸及消費性電子等領域。,微機電系統(Micro-Electro-MechanicalSystems,MEMS)可作為感測器(sensor)或致動器(actuator...
微機電系統(MEMS)技術發展及應用趨勢探討
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微機電系統(Micro-Electro-MechanicalSystems,MEMS)可作為感測器(sensor)或致動器(actuator)使用,應用除消費性電子領域,未來不僅是智慧家電、穿戴裝置產品,更擴及 ...
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