EUV光源 原理
2021年2月4日—EUV的技術原理,藉由精細的雷射光線與水滴相撞擊,搭配音樂為大家帶來了無與倫比的感官享受在這16天的展期中,我們攜手創造了3項成就:☝️見證 ...,2023年7月5日—这15年历尽坎坷,要理解其中的难点,我们不得不谈一谈13.5纳米的EUV光源的发光基本原理,EUV...
極紫外線光學元件
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...EUV來源,進而推出多款商用EUV光源。幾乎所有材料都會大幅吸收EUV輻射,因此光學元件一定採用反射式而非透射式。由於波長短,EUV光學元件的表面品質要求比可見光 ...
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