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Double Patterning 原理
2019年9月18日—为了解决这个问题,先进工艺开始采用doublepattern(DPT),也称为doublemask,就是将原来的一层mask拆分成两层,在每一层mask中都不出现最小 ...,多重圖形(Multiplepatterning)是指一種在半導體製造過程中的技術。在光刻過程中使用了多重圖形曝光...
360°科技:雙重曝光
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2008年12月25日—雙重曝光(DoublePatterning;DP)是半導體為因應摩爾定律延伸所發展的新曝光技術。過去在193波長浸潤式顯影機種之下,已可將半導體製程技術推移至45奈 ...
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