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Double Patterning 原理
2019年9月18日—为了解决这个问题,先进工艺开始采用doublepattern(DPT),也称为doublemask,就是将原来的一层mask拆分成两层,在每一层mask中都不出现最小 ...,多重圖形(Multiplepatterning)是指一種在半導體製造過程中的技術。在光刻過程中使用了多重圖形曝光...
半導體多重圖形曝光技術的原理Multiple patterning
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2022年1月11日—半導體多重圖形曝光技術的原理Multiplepatterning...EUV極紫外光的波長13.5奈米,如何能做出10奈米以下的晶片?這篇是文章解說:次10奈米世代的半導體 ...
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