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雷 射 微影
...微影技術,達到量產目的,在壓印過程中所使用之奈米模具扮演著關鍵角色。一般用來製作奈米模具的方式有許多種,如光學微影、電子束微影等技術,而其中雷射干涉微影技術 ...,本研究提出利用雷射干涉微影(LaserInterferenceLithography)進行NPSS之圖案定義,其中雷...
微影照像
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準分子雷射(excimerlaser)有氟化氪(KrF)和氟化氬(ArF)兩種,是驅動.微影製程進入深次微米(deepsubmicron),使解析度小於0.5微米的曝光光源。一.準分子雷射的 ...
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