![雷 射 微影](https://host.easylife.tw/files/Immersive%20Explorer.gif)
雷 射 微影
...微影技術,達到量產目的,在壓印過程中所使用之奈米模具扮演著關鍵角色。一般用來製作奈米模具的方式有許多種,如光學微影、電子束微影等技術,而其中雷射干涉微影技術 ...,本研究提出利用雷射干涉微影(LaserInterferenceLithography)進行NPSS之圖案定義,其中雷...
第六章
- EUV光源 原理
- 光罩原理
- euv光源
- 何謂微影技術
- 台積電浸潤式曝光
- Overlay 半導體
- immersion lithography
- 浸潤式immersion微影技術
- Double Patterning 原理
- 浸潤式微影技術
- 193 nm immersion lithography
- EUV 優點
- EUV lithography 原理
- lithography半導體
- 台積電 浸潤式 曝光的 原理
- 微影 技術應用
- DUV EUV 波長
- arf immersion
- what is immersion lithography
- euv原理
- euv波長
- immersion lithography ppt
- 濕式微影
- EUV 曝光 原理
- 193奈米浸潤式微影技術
2023年11月30日—2繞射式微鏡片之製作.繞射式微透鏡之製作方式有RIE半導體製程法、雷射微影光刻法(laserbeamlithography)、雷射直寫微加工法、電子束微影光刻法 ...
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