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lpcvd pecvd比較
PECVD与LPCVD技术差异说明-物件在經過加熱板加熱後和留下來的混合氣體產生化學反應產生模層LPCVD系統的主要優點在於具有優異的薄膜均勻度,以及較佳的階梯覆蓋能力, ...,2007年5月21日—與APCVD系統相比較,LPCVD系統的主要優點在於具有優異的薄膜均勻度,以及較佳...
电池片LPCVD、PECVD和PVD三种技术路线
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- lpcvd原理
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- Plasma Enhanced chemical vapor deposition
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- 階梯覆蓋
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2024年4月21日—...PECVD、管式PECVD和板式PECVD。微波PECVD沉积速率高达100A/s,但目前沉积的氧化硅膜较厚,且维护成本比较高。管式PECVD和板式PECVD同样可以实现原位掺 ...
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