load lock 中文
2020年10月21日—LoadLock之功能為何?答:Wafers經由loadlock後再進出反應腔,確保反應腔維持在真空下不受粉塵及濕度的影響.廠務供氣系統中何謂BulkGas?答:Bulk ...,真空預載型(Load-Lock)蒸濺鍍系統,分為預載腔體及鍍膜腔體。被鍍物可置於預載腔體內並經由傳輸到達...
Single wafer load lock機台
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