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Overlay 半導體
2008年8月29日—微影疊對(overlay)顧名思義就是層對層(layertolayer)。晶片製造過程中,製程整合等工程人員依據電路線寬等特性,將龐雜的電路走線區分為不同光罩層 ...,AUROSOverlay影像檢測機台OL100OL-100台灣...母公司FST,Ltd.創立於1987年,為韓國著名的的半導體...
光學微影的限制
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由於製造商永遠受限於以最低成本製造最小元件特徵的要求,因此光學微影的解析度限制決定了半導體產業的生產能力。本文將闡述這些限制以及現今的趨勢,目標為協助業界延伸與 ...
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